1600°C Вакуумно-атмосферная трубчатая печь CVD-система

ОПИСАНИЕ

Система CVD с вакуумной/атмосферной трубчатой печью 1600 ° C (CVD-TF) обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой и используется в полупроводниковой, нанотехнологической, оптоволоконной и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, испытание проводимости керамической подложки, контролируемый рост наноструктуры ZnO, спекание керамического конденсатора (MLCC) в атмосфере и другие эксперименты.

ФУНКЦИИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна с вакуумной адсорбцией, температурное поле является равномерным, а энергосбережение составляет более 50%.

2. Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и постоянный температурный эффект каждого компонента в коробке.

3. При запуске электрической печи одновременно автоматически включается вытяжной вентилятор. После испытания вытяжной вентилятор будет продолжать работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защитит поверхность корпуса печи.

4. Дверца печи открывается с автоматическим отключением питания, функцией защиты от перегрева и функцией защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Схема использует режим непрерывного нагрева, двухконтурный источник питания и раздельную проводку сильного и слабого тока, что повышает стабильность системы.

6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что позволяет избежать помех от наведенного электричества на управляющий сигнал.

7. Низковольтные металлические кнопки используются для кнопок управления, с индикаторами состояния, безопасным и интуитивно понятным управлением.

8. Верхний и нижний корпуса печи соединяются авиационными штекерами, которые безопасны, надежны и удобны в подключении.

9. Узел газового контура изготовлен из пищевой нержавеющей стали 316, которая обладает коррозионной стойкостью, стойкостью к атмосферной коррозии и высокой термостойкости, а также немагнитна.

10. Принять цифровой прибор отображения расхода, сотрудничать с регулятором массового расхода, собирать данные и контролировать расход. Он имеет характеристики хорошей повторяемости, быстрой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система управления массовым расходом газа)

11. Автоматическое управление и функция переключения ручного управления, режим автоматического управления может автоматически открывать / закрывать вакуумный насос через заданное значение, так что контейнер может поддерживаться в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь непосредственно управляет вакуумным насосом с помощью кнопки включения/выключения вакуумного насоса. для удовлетворения потребностей различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

12. Технология медленного пуска соленоидного клапана открывает соленоидный клапан через 10 секунд после включения вакуумного насоса, так что давление системы в трубе печи поддерживается точным, а также гарантирует, что выхлопной газ не вернется в печь. система трубок для воздействия на экспериментальный эффект (система управления средним вакуумом)

13. Сигнализация перегрева, блокировка меню, предотвращение перегрева, задержка восстановления питания.

14. Используя технологию одностороннего клапана, поток газа контролируется в пределах контролируемого диапазона давления для обеспечения безопасности.

15. Принято устройство резервуара для смешивания газа, так что газ может быть введен в рабочее помещение после полного смешивания, чтобы гарантировать, что он не будет просачиваться.

СПЕЦИФИКАЦИЯ